Gerador de plasma para tratamento de superfície TruPlasma MW 1000

de alta frequênciaautônomoPECVD

Gerador de plasma robusto e potente de energia de estado sólido para densidades máximas de plasma e requisitos de processo Os geradores da série TruPlasma MW baseiam-se em tecnologia de estado sólido e alcançam uma precisão de frequência significativamente mais elevada do que os geradores de microondas baseados em magnetrões. O conceito de plataforma inovadora pode realizar de forma eficiente e económica as densidades máximas de plasma e mesmo requisitos de processo muito exigentes. A estrutura modular também permite um dimensionamento preciso da potência de saída. A alimentação de energia permanece estável em todos os momentos sem qualquer prejuízo para a qualidade do processo. A série TruPlasma MW assegura os melhores resultados e a máxima fiabilidade na produção de semi-condutores, células fotovoltaicas e visores, graças às modernas funções de processo. A pulsação inovadora na gama nano segundo permite um melhor controlo do processo de plasma. Diferentes geradores podem ser operados e pulsados de forma sincronizada em sistemas multi-antenas. Variando a coerência de fases entre os geradores individuais, é possível alcançar uma extensa homogeneidade de plasma. Beneficie de uma modulação de frequência digital altamente precisa que assegura resultados de processo reprodutíveis, máxima qualidade de revestimento e produtividade. A adaptação automática da frequência garante um resultado óptimo do processo e uma elevada reprodutibilidade. Pode confiar na função do gerador - a qualidade do processo não é prejudicada mesmo no caso de um desajuste. Pode controlar a máquina muito rapidamente dentro de um milissegundo com a interface digital EtherCat. Isto permite uma distribuição precisa do plasma.