MÁQUINA DE LAVAR ROUPA
Características:
Interface touchscreen amigável ao usuário
Armazenamento de até 50 programas com 20 passos
Botão de início rápido para processos repetidos
Fixação a vácuo ou mecânica do substrato (o vácuo tem intertravamento de segurança)
Tampa transparente com função de bloqueio de segurança
Spin coater TCS
A série TCS foi concebida para I&D e produção em pequena escala em MEMS, Semicondutores, PV, Microfluidos. As máquinas de fiação TCS podem processar uma ampla gama de wafers redondos a partir de peças até 150 mm ou substratos quadrados até 125x125 mm. Tem muitas opções disponíveis e pode se adequar perfeitamente às suas necessidades.
Para a melhor compatibilidade química com a tigela de dosagem de produtos químicos pode ser feita de POM, alumínio anodizado, polipropileno ou PTFE
O processo de spin coating é configurado através de um ecrã táctil de fácil utilização. O usuário pode programar até 50 receitas com 20 passos. Cada passo pode ter diferentes parâmetros de velocidade, aceleração e tempo.
Opções:
Sistema de distribuição pneumática de seringas
Sistema motorizado de distribuição de seringas
Sistema dispensador de garrafas pressurizadas com manômetro digital e controle de pressão
Vários mandris de vácuo ou mecânicos
Ferramenta de alinhamento de bolachas
Tigela de alumínio anodizado, polipropileno ou PT
Especificações: -
Tamanho do wafer até, mm -
150 (6")
Tamanho do substrato até, mm -
125x125
Faixa de velocidade, rpm -
0 – 10 000
Tensão de alimentação -
230 VAC 50/60Hz 11A
Vácuo técnico, bar -
-0,85
Conector do tubo de vácuo, mm -
6
Conector de drenagem, mm -
12
Conector de exaustão, mm -
40
Dimensões, mm -
355х490х410
Peso, kg -
23
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