A série ECB são amplificadores de alta tensão para ventosas electrostáticas (E-Chuck, ESC). Para além da comutação de polaridade e da ligação à terra forçada, a família também oferece um sistema de monitorização de bolachas para satisfazer as necessidades de inspeção de bolachas. Além disso, com uma ampla gama de tensões, a série suporta ventosas electrostáticas Coulomb e Johnsen-Rahbek.
Aplicações:
Manuseio de material acionado eletrostaticamente
Processamento de bolachas semicondutoras
Transferência não mecânica de placas ou outros materiais processados que são sensíveis ao manuseamento mecânico
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