Sistema de medição para wafers

de efeito Kerr (MOKE)a laseróptico

Utilizando o efeito Kerr magneto-ótico poloidal (MOKE), as propriedades magnéticas das pilhas de bolachas são rápida e globalmente detectadas. A medição sem contacto evita danos na bolacha através da caraterização magnética tradicional e pode ser aplicada à deteção de amostras antes e depois da modelação. O Wafer Moke pode fornecer até 2,5T de campo magnético vertical/1,3T de campo magnético no plano, e o forte campo magnético pode induzir a inversão da camada livre, da camada de referência e da camada fixa da pilha vertical de filmes de memória magnética de acesso aleatório (MRAM) anisotrópica; Sensibilidade de deteção Kerr ultra-alta, que pode caraterizar as alterações magnéticas subtis de diferentes camadas de película ao mesmo tempo. A combinação da deteção laser ponto a ponto com a imagiologia por varrimento pode criar rapidamente um mapa global das propriedades magnéticas da bolacha, ajudando na otimização do processo e no controlo do rendimento. Indicadores de desempenho e vantagens tamanho da amostra: suporta testes de wafer de até 12 polegadas e é compatível com versões anteriores, suporta testes de fragmentos; campo magnético: o campo magnético vertical máximo é melhor que ± 2,5 T, e a resolução do campo magnético é de 1 μT; sensibilidade de deteção magnética: o grau de deteção do ângulo de rotação Kerr é melhor que 0,3 mdeg (RMS), adequado para caraterização magnética de pilhas de filmes multicamadas; precisão de posicionamento de repetição de amostra: melhor que ± 1 μm, jitter estático ≤ ± 0,25 μm. Funções e cenários de aplicação medição de loop de histerese vertical de pilhas MRAM e conjuntos de dispositivos (Polar Kerr para MRAM); medição do ciclo de histerese vertical de meios de armazenamento magnético, tais como discos (Polar Kerr para PMR Disk);