Acionamento central virtual
A XENOS da ZEISS está equipada com dois acionamentos lineares no eixo Y, sincronizados através de uma nova tecnologia desenvolvida pela ZEISS: o acionamento central. Este assegura uma distribuição ideal da força dos acionamentos em função da posição do eixo X. Isso se tornou possível graças ao comando de última geração e a um novo algoritmo.
Trata-se de um elemento fundamental que contribui para a precisão máxima e o seguimento ideal da trajetória ao longo de toda a área de medição.
Acionamentos lineares em todos os eixos
A ZEISS XENOS usa acionamentos lineares em todos os eixos. As vantagens são as seguintes: elevadas velocidades, aceleração extremamente rápida, elevada precisão de posicionamento e propulsão sem forças transversais. Conjuntamente com as escalas de alta resolução, o uso de acionamentos lineares na ZEISS XENOS garante um seguimento extremamente exato da trajetória e uma elevadíssima precisão de posicionamento abaixo dos 100 nanómetros.
Por exemplo, a deflexão do apalpador permanece mais constante, resultando em maior precisão. Outra vantagem se torna evidente na medição de superfícies curvas: quanto maior a confiabilidade e precisão com que o apalpador segue a trajetória definida, maior a precisão com que se podem detectar desvios.