O ORION NanoFab é um microscópio de feixes múltiplos 3 em 1, concebido para o fabrico de nanoestruturas sub-10nm utilizando o motor de visualização e de nanopadronização e outras aplicações. Possui três tipos de feixes que os usuários podem alternar entre si, ou seja, gálio, hélio e feixes de néon.
O FIB de gálio é adequado para remover material de massa numa amostra de substância. O feixe de hélio, por outro lado, é ideal para a fabricação de estruturas sub-10 nm. O feixe de néon permite que os usuários formem nanoestruturas em velocidades altamente eficientes com alto rendimento.
O NanoFab tem uma alta resolução de imagem de 0,5 nm, permitindo imagens de alta resolução de amostras usando o mesmo instrumento.
---