セキデンコMXE高温計はスピードと精度を兼ね備えており、要求の厳しいアプリケーションの正確で、非接触、再現性のある測定と制御を可能にします。その高速(最大10kHz)性能は、回転サセプターのような動くターゲットを持つプロセスに最適です。また、レーザーベースの加工や急速アニールなどのダイナミックなプロセスにも非常に適しています。非常にコンパクトなMXEは簡単に統合できます。その柔軟な制御オプションは、様々なI/Oプロトコルをサポートします。
特徴
その場での非接触温度・放射率測定
様々なアプリケーションに最適な高速測定
多様な温度・反射率波長
EtherCAT®、USB、RS-232出力オプション
メリット
重要なプロセスの温度測定精度を向上
再現性を高め、ばらつきを最小化
生産性、歩留まり、スループットの向上
複数のチャンバーと基板材料にわたる安定性と信頼性の向上
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