- 検出・測定
- レベル計･圧力測定･流量測定
- 質量流量センサー
- Angst+Pfister Sensors and Power AG
質量流量センサー PFLOW3000ガス
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特徴
- 技術
- 質量
- 応用
- ガス
詳細
PFLOW3000シリーズのマスフローセンサはマイクロマシニング（MEMS）センシングエレメントを使用しており、優れた直線性と一般的なガスのガス感度を除去した革新的なサーマルセンシング原理を提供します。
測定範囲 [SCCM］
0～2...50 SLPM
出力信号
リニア、0.5～4.5 VDC、Rs485 Modbus、I2C
精度 [± % FS] max.
±(1.5+0.2FS)
電源電圧 [VDC］
8...24
湿度範囲
0.100%RH、結露なきこと
サプライヤー
Angst+Pfister センサー＆パワー
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