MAS339 Proは高強度鋼フレームとカスタマイズされた精密級大理石構造部品を採用し、機械の精度と安定性を確保します。詳細はお問い合わせください。
ウェハー20枚送り
8"/12 "ウエハーフランジプラットフォーム
フィーディングプラットフォーム
マルチタイプ供給プラットフォーム
駆動装置
リニアモータードライバー
バルク供給
バルクパック材料は、自動バルク材料供給プラットフォーム(振動ドライバ付き)と高度な画像認識システムの助けを借りて、完全に自動識別とピック&プレースすることができます。
カメラ
MAS399 Proは複数のHDカメラを搭載しており、ダイやチップの高解像度認識に使用されます。
圧力
接着力(標準範囲):30g~500g(オプションで2000gまで対応可能)
トレイ20供給
トレイ供給プラットフォーム:2インチGel-Pak/JEDEC材料トレイを16枚積載可能。
レーザー
レーザー高さ測定装置:キャリア上の異なるコンポーネントの高さに対応します。
有効20エリア
載置台有効面積:600mm×500mm(分解能:0.01μm)
ウェーハ供給台有効面積:220mm×220mm(分解能:0.01μm)
生産能力
生産能力:2000dies/h(標準的なアプリケーションと材料の場合)
位置決め精度:±10~20µm@3シグマ*(プロセスによる)
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