キャパシタンスダイアフラム真空計 V8C

アナログデジタルEtherCAT

受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応 小型化によるフットプリント削減 サファイア隔膜真空計 形 V8は、MEMS加工技術を応用したセンサにより、耐デポ性能を改善しました。 受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、形 V8Sでは最高使用温度250℃を実現しました。