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真空範囲: 0.1 mbar - 1,000 mbar
... 受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応 小型化によるフットプリント削減 サファイア隔膜真空計 形 V8は、MEMS加工技術を応用したセンサにより、耐デポ性能を改善しました。 受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、形 V8Sでは最高使用温度250℃を実現しました。 ...
真空範囲: 0.2 mbar - 1,000 mbar
... SPG5A-6Aは、サファイア式静電容量圧力センサを採用し、高精度・高信頼性、小型・軽量を実現した静電容量ダイヤフラム真空計です。自己発熱モデルおよび非自己発熱モデルが利用可能です。SPG5A/6Aは、半導体製造に特に適しています。 特長 *-単結晶サファイアを使用し、耐食性、高温 性に優れ、耐食性、耐熱性の単結晶サファイア圧力センシング材料も優れた機械的特性を持っています。静電容量測定は高温使用時でも高い再現性 *-高精度測定 高度な信号処理技術により、優れた温度特性と直線性に貢献 ...
真空範囲: 0.1 mbar - 1,000 mbar
... 受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応 小型化によるフットプリント削減 サファイア隔膜真空計 形 V8は、MEMS加工技術を応用したセンサにより、耐デポ性能を改善しました。 受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、形 V8Sでは最高使用温度250℃を実現しました。 ...
... 隔膜真空計 形 SPG□□ は感圧部にサファイアを使用した静電容量式圧力センサで高耐久性、高信頼性、高精度を実現した”国産”の隔膜真空計です。 ストレスがかかる環境下でもゼロ点がシフトしにくい 設備のダウンタイム低減に貢献 計器の状態把握が容易 サファイア隔膜真空計 形 SPG5/6/7は、受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、静電容量検出により、高温計測環境下でも高い計測再現性を実現しています。 先進の信号処理技術により、温度特性、直線性などの誤差の少ない計測を実現、マイクロマシニング技術で形成したサファイアセンサにより、小形、軽量化も合わせて実現した自己加熱タイプの隔膜真空計です。 品質向上に貢献 非常にストレスがかかる環境で使用されることが多い真空計は、さまざまな要因によりゼロ点のズレが発生しやすい ...
真空範囲: 0.001 mbar - 1,100 mbar
... 大気圧から10-3 mbarまでの極めて広い範囲で高精度と耐薬品性を実現。粗真空・微真空の両方に1つのゲージで対応 センサーを内蔵したコンパクトな設計により、実験室やプロセス現場での設置に便利 セラミックダイアフラムセンサーとセラミックジャケット付きピラニセンサーという耐薬品性に優れた組み合わせにより、腐食性の強い化学物質を使用する場合でも長寿命を確保 バックライト付きディスプレイで視認性に優れています メニュー駆動型の操作画面を備え、単位設定などが簡単に行えます 真空計の動作例 粗真空および微真空範囲における真空プロセスのモニタリングには、新しい真空計「VACUU·VIEW ...
真空範囲: 1 mbar - 1,080 mbar
... ナビゲーションメニューの機能向上により、省エネにつながり、バッテリーの寿命を延ばすことができます デジタル測定値を表示する大型のグラフィカルアナログディスプレイにより、傾向を把握しやすく、正確な読み取りが容易になります 圧力単位をmbar、hPa、Torrからユーザー選択できるため、不要な換算が不要です さまざまな真空接続部と追加の支持棒により、ほぼすべての実験室用途での使用が可能です 接液部に耐薬品性素材を採用し、静電容量式セラミックダイアフラム圧力センサーと組み合わせることで、優れた長期安定性と精度を実現しています 真空計の動作例 DVR ...
真空範囲: 3 mbar - 1,333 mbar
... VersaTorr BVT200/225シリーズ ピラニ変換器で新しいスタンダードを確立してください。これは、幅広い真空アプリケーションに対応するオールインワンのワイドレンジ測定ソリューションです。他の真空計とは異なり、5.0E-3～1333mbarのガス独立測定と、熱損失原理を利用した1E-6mbarまでの測定が可能で、全体的に費用対効果が高いのが特徴です。 ガスの組成や種類が変化する真空用途では、従来のガス依存型ピラニゲージでは、実際の圧力と測定値にズレが生じます。トライセンサーは、高精度なキャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）センサーを使用しており、ガス依存性を排除し、ガスの特性が変化した場合でも正確な測定値を提供します。 また、熱損失型MEMSピラニセンサーの搭載により、測定範囲を1E-6mbarまで拡張し、従来のキャパシタンスダイアフラムゲージの手動ゼロ調整の必要性をなくした新しい自動ゼロ調整機能を提供します。 特徴・メリット ...
真空範囲: 10 mbar - 1,000 mbar
... CDG020D INFICONポーター CDG020Dキャパシタンスダイヤフラムゲージは、高品質で費用対効果の高い、ガスタイプに依存しない絶対圧力センサーです。 Porterは、産業環境において安定した長時間の性能を発揮するように設計されています。 セラミックセンサは、優れたゼロ安定性と組み合わせて、長年にわたるメンテナンスフリー動作で優れたスパン安定性を提供します。 耐腐食性の単一材料センサアーキテクチャは、優れた温度補償を保証します。 完全なデジタル・エレクトロニクスと小型フットプリントにより、あらゆる統合における柔軟性が決まります。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0.67 mbar - 1,333 mbar
... カテゴリー - ダイヤフラムゲージ、温度補償、セットポイントなし 項目説明 - 製品名: ダイアフラムゲージ、温度補償型 測定原理: キャパシタンスダイアフラム 測定範囲: 67....1.33E+5Pa｜6.7E-1 ...1333mbar｜5E-1 ...1000Torr 精度: ±1 再現性: - 圧力測定ガス種依存性: いいえ 真空接続DN16KF ベークアウト温度110°C 動作温度: 10....50℃（補正）｜0...70℃（許容） 真空中の材質：SS、Al2O3 寸法29 x 24 ...
... ZNXセンサーは、静電容量マイクロメトリーの原理に基づいた非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレート（ターゲットとプローブ）が平行平板コンデンサーを形成します。この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを使用することで、0.1 nm以下の精度で測定でき、測定範囲は最大1.25 mm、周波数応答は最大5 kHz、リニアは0.02%です。ZNXセンサーは非接触方式なので、ヒステリシスがありません。測定ポイントでの消費電力はありません。 - ピコメートル単位の高精度測定 - 測定の安定性 - ...