容量ゲージ SPG series

真空腐食ダイアフラム

サファイアダイアフラムゲージのSPG5/6/7は、圧力検出部に優れた耐食性、高温耐久性、機械的特性を持つ単結晶サファイアを使用しています。また、静電容量を検出することで、高温の測定環境下でも優れた測定再現性を実現しています。 高度な信号処理技術により、温度特性や直線性、測定誤差を極限まで抑えた自己発熱型ダイアフラム真空計です。また、マイクロマシニング技術により形成されたサファイアセンサーにより、小型・軽量化を実現しています。 品質向上に貢献 真空計は非常に高いストレス環境で使用されることが多く、一般的にさまざまな要因でゼロ点が狂いやすい。真空計のゼロ点偏差は、制御される変数に影響を与え、最終製品の品質にも影響を与えます。SPGサファイアダイアフラム真空計は、ゼロ点のずれを防止する機構を備えています。 生産性の向上に貢献 工場のダウンタイムを短縮し、無駄な時間を削減する機能を搭載しています。 プロセス改善に貢献 これまで圧力信号の変化でしか判断できなかったさまざまな情報を可視化し、生産工程の改善に貢献します。