Pirani真空計 BVT200

キャパシタンスダイアフラムデジタルRS485

VersaTorr BVT200/225シリーズ ピラニ変換器で新しいスタンダードを確立してください。これは、幅広い真空アプリケーションに対応するオールインワンのワイドレンジ測定ソリューションです。他の真空計とは異なり、5.0E-3～1333mbarのガス独立測定と、熱損失原理を利用した1E-6mbarまでの測定が可能で、全体的に費用対効果が高いのが特徴です。 ガスの組成や種類が変化する真空用途では、従来のガス依存型ピラニゲージでは、実際の圧力と測定値にズレが生じます。トライセンサーは、高精度なキャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）センサーを使用しており、ガス依存性を排除し、ガスの特性が変化した場合でも正確な測定値を提供します。 また、熱損失型MEMSピラニセンサーの搭載により、測定範囲を1E-6mbarまで拡張し、従来のキャパシタンスダイアフラムゲージの手動ゼロ調整の必要性をなくした新しい自動ゼロ調整機能を提供します。 特徴・メリット 90年の超ワイドな測定範囲 キャパシタンスダイアフラムにより、低真空領域まで0.5%の精度を実現。 5E-3から1333mbarまで、60年間ガスに依存しない測定が可能 キャパシタンスマノメーターの自動ゼロ調整 診断用真空温度センサー 用途 ロードロック トランスファーチャンバー フォアライン 真空ラフティングライン 薄膜加工