質量流量計 CS200 series

液体用ステンレススチール製RS485

高度なセンサーと温度補正技術を搭載したCS200 MFCは、±1%S.P.の精度と低い温度係数を達成できます。さらに、高度な制御システムを搭載したCS200 MFCは、すべてのセットポイント変更に対して平均800msの応答時間を実現し、プロセスにおけるシステム・エラーを最小限に抑えます。 特長 1.高精度と高速応答 CS200 MFCの精度はS.P.の±1.0%に向上し、最新機種では応答時間を0.8秒以下に短縮した。 2.低いゼロドリフトと温度係数 新しいセンサー技術の発明により、CS200 MFCは安定性を維持し、温度変動に耐えることができる。オートゼロアンプを使用しない場合、予想ゼロドリフトは0.6%F.S./年未満、温度係数は0.02%F.S./℃(ゼロ)、0.05%F.S./℃(スパン)未満です。 3.メタルシールモデルと高純度の特徴 CS200 MFCの接液流路は、表面不動態化処理を施したステンレス製です。すべてのCS200 MFCは、SEMIおよびISO 9001規格に準拠したセブンスター・クラス100クラスの超清浄度クリーンルームで組み立てられています。 4.対応インターフェイス CS200 MFCは、±8V-±16Vダブルエンド電源および+14V-+28Vシングルエンド電源、デジタルまたはアナログ信号入出力、SEMI標準機械寸法、およびRS-485またはDeviceNet通信モジュールに対応しています。 5.その他の機能 マルチガス、マルチレンジ、オートゼロ、アラーム、ソフトスタート、ディレイなどの追加機能が選択可能です。