オンライン監視システム FMS

温度圧力湿度

FMSクリーン環境オンライン監視システムは、主に測定センサー、真空ポンプ制御システム、ネットワークキャビネット、警報システム、上位コンピュータ監視ソフトウェアの5つの主要部分からなり、クリーンルーム内のクリーン度、温度と湿度、差圧、風速などのリアルタイム監視を実現し、データの保存と管理機能を完備しています。 生産工程では、通常、周辺環境の条件は絶えず変化しており、手動監視では連続した監視データを提供できないため、システムが規定の作業条件から逸脱した場合、ましてや製品の品質を推定することは不可能である。クリーン環境オンライン監視システムは、遠隔地の粒子センサーを各所に複数設置し、センサーがリアルタイムで測定し、測定結果をコンピューターに送信することで、手動監視のこのような欠点を回避することができます。温度、湿度、差圧、風速、浮遊菌数など、すべて関連するプローブで測定する。 2.感度：0.3μm 3.2チャンネル 0.5μm、5.0μm（オプションで0.3μm、0.5μm) 4.データ表示：オンサイトリアルタイムデータLCD／表示なし 5.通信モード：標準Modbus-TCP、Modbus-RTUプロトコルまたは0-5V、4-20mAアナログ出力 6.サンプリング流量：2.83L/minまたは28.3L/min 7.計数効率: 50%@0.3μm (JIS準拠) 8.流量誤差：±5 9.許容大サンプリング濃度35000個/L 10.光源：レーザーダイオード 11.真空源：内蔵エアポンプ/外付けエアポンプ 12.アルミ合金製シェル＋ステンレス製保護ケース 13.電源。220V±10％、50Hz±2Hz