熱式質量流量計 µ-FLOW series

液体用インライン

微小流量液体用マスフローメータ・コントローラµ-FLOWはサーマル式で、スルーフロー測定原理により動作致します。µ-FLOWのデジタルPCボードには自己分析、アラーム、カウンター、デジタル通信(RS232およびオプションで各種バス通信対応)といった機能が含まれます。 最小レンジ5 ... 100 mg/h 最大レンジ0.1 ... 2 g/h (H2Oに熱的性質が近い流体向け) 特徴 可動部品なし スルーフロー流量測定 姿勢影響なし 高速応答、高精度 極めて小さいデッドボリューム (センサー部：1.5...33 µl) バルブ一体型マスフローコントローラ：安定・連続した流量制御 アナログ入出力およびデジタル通信(RS232, オプションのオンボード・フィールドバス・インターフェース)対応 ステンレス鋼製センサー 最大定格圧力(オプション)100 MPa (1000 bar, 15000 psi)