スクリュー真空ポンプ COBRA BA 0100 C

乾式コンパクト

高度なスクリュー設計： ベル型の構造、特許取得のセルフ バランシングスクリュー 高効率性： 空冷式、所有コストの低さ、最小限 のメンテナンス、優れたアップタイム 高信頼性： 高い動作信頼性 フレキシブル： 用途指向 静音性： 低騒音、低振動 コンパクト設計 COBRA BA 0100 Cは、ロードロックチャン バーの排気や、要求の厳しいソーラー、フラ ットパネル、半導体アプリケーションで実績 のあるドライスクリュー真空ポンプです。効 率的な空冷方式と、同等性能製品の中で最 高レベルの排気速度を誇り、高効率で信頼 性の高い真空技術が求められるアプリケー ションでご利用いただけます。COBRA真空 ポンプはオイルフリーかつ非接触式で、副 生成物耐性に優れています。 不等ピッチスクリューのツインローター は、精巧なベル型のカンチレバー構造のた め、モーター側にのみ取り付けられていま す。また、独自の「フライングベアリング」設 計により、吸気側のベアリングは必要あり ません。そのため、移送されるガスはベアリ ングと接触しません。これにより、クリーン な真空生成が確保され、排気されたガスを 完全に回収することができます。吸気口か ら排気口までのガス流路が直線のためデッ ドスペースがなく、圧縮チャンバー内に副生 成物が堆積しません。 特許取得済みのセルフバランシングスクリ ュー設計と、精密に重心位置に取り付けら れたスクリューローターが、優れた運転品 質と高いアップタイムを約束します。直結式 のカンドモーターにより、COBRA BAシリー ズは非常にコンパクトで、動的シールも不 要です。 用途 半導体用途向けのロードロック 分析機器 薄膜コーティング R&D用途 殺菌 炉 フリーズドライ ガス回収