COBRA DS 0080/0160 G
高度なスクリュー設計
効率的:
費用対効果の高い、最小限のメンテナンス、高稼働時間
フレキシブル:
アプリケーション指向の
短い処理時間:
高いポンプ速度に起因する
堅牢な:
内部コンポーネント上の耐腐食コーティング
コンパクト設計
COBRA DS 0080/0160 Gは実績のあるCOBRA DSシリーズのドライスクリュー真空ポンプ。 高い水素スループットが要求される条件下でも高いポンプ速度により、COBRA DSスクリュー真空ポンプは、太陽光電池、フラットスクリーン、半導体の製造におけるあらゆる要求の厳しいプロセスに最適です。 最先端のCOBRA DSスクリュー真空ポンプ技術により、粉体および粒子が積んだ媒体を排気できます。
COBRA DS ドライスクリュー真空ポンプは、ドライ圧縮、特別に開発されたスクリュープロファイル、および妨げられないガス排出を特長としています。 その結果、高い蒸気と粒子の耐性が得られます。 ねじは、隙間を避け、プロセス流体または粒子の侵入を不可能にし、それによって腐食を防止する単一ピース鋳造から製造されています。
高効率モーターを搭載したCOBRA DS 0080/0160 Gは、優れたエネルギー効率を提供します。 メンテナンス要件が低く、運用コストが低く、稼働時間が非常に長く、ライフサイクルが長いため、TCO(総所有コスト)が非常に低く、このパフォーマンスクラスの標準となっています。
これらのスクリュー真空ポンプを既存のシステムに改造するには、フィットインプレース設計により、迅速かつ容易に実行できます。
アプリケーション
高密度プラズマCVD(HDP-CVD)
高速熱処理(RTP)
大気下CVD(SACVD)
金属有機CVD(MOCVD)
プラズマ強化CVD(PECVD)
低圧CVD(LPCVD)
原子層堆積(ALD)
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