APPLICATIONS:
ウェーハ洗浄・リンス(ウェットベンチシステム
流動性のあるフラッシュポイント溶媒や酸の加熱
シングルパスまたは循環システムでの使用
PFAチューブヒーターと同様の用途だが、より高い温度限界を持つ
爆発性の蒸気を伴うプロセス
正確な温度制御が必要な場合
特徴と利点
流体経路が発熱体に接触しない
低引火点溶剤の安全な加熱を可能にする
加熱された媒体は、シームレスな316ステンレススチールチューブに隔離される
溶剤チューブは不動態化処理されており、純度の高い電気研磨が施されている
セルフドレイン式のフローチューブにより、滞留物を排除
引火点以下の熱を素早く除去する冷却管
電気系統はNEMA 7防爆仕様
堅牢なセンサー&スイッチアレイを装備
仕様は以下の通りです。
電源
合計6kW~合計8kW
電圧範囲: 208 - 480 V
最大ライン電流:1回路につき30A
チュービング(ソルベントチューブ)。
.750インチ外径(3/4インチ)(19.1mm
肉厚:1.7mm(0.065インチ
プロセスチューブ全体の長さ:2934mm(115.5インチ
316Lステンレススチール、不動態化処理および電気研磨済み
最大圧力: 3300 psi (227 bar)
チュービング(冷却管)。
外径0.250インチ(1/4インチ) (6.3mm)
ウォール:0.035インチ(0.9mm
プロセスチューブ全長:2190mm(86.25インチ
316Lステンレススチール
最大圧力:5100psi(351バール
筐体
NEMA 7(防爆仕様
(クラス1、ディビジョン1および2、グループB、CおよびD)。)
最高使用温度
200°C (392°F)
公表されている温度は、ハウジングを12時の位置に置いた場合のものです。
6時の位置では、より高い温度で使用できる可能性があります。詳細は工場にお問い合わせください。
センサー
2つのJ型熱電対(埋め込み式
J型熱電対1本(着脱式
スナップアクション式ハイリミットスイッチ(オートリセット付き
フィッティング
ソルベントチューブ。フラレテック®互換品またはスウェージロック®VCR
冷却チューブNPTまたはスウェージロックVCR
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