スクライビングレーザー SS-200

パワー高輝度回転

レーザー：波長532nmのGRN波長レーザー ウエハサイズ：2″と4″、オプションで6″も可能 透明LEDウェハ SDスクライビングなど 低リーク電流 スクライブ速度設定可能 スクライビングパターンの編集が可能 アライメント用高解像度カメラ SS-200は、高輝度透明LEDウェハーの製造用に設計された、波長532nmのGRN SDレーザースクライビングツールです。ビーム径の調整、レーザーパワーの調整、シャッターの制御を個別に行うことができるフレキシブルなビーム伝送路を備えています。安定した光学性能と機械性能を実現するために、花崗岩製の光学プレートが不可欠です。SS-200はクラスIのレーザー安全システムです；また、工作物をきれいに保つために破片除去システムを装備しています。 SS-200は、次世代LEDウエハーのアライメントに優れた能力を提供します。高精度ロータリ・タンテブルにより、ウェーハをレーザービーム下に正確に位置決めし、加工することができます。また、高倍率カメラにより、ウェーハ上のエッジやダイを高精度に検出し、レーザースクライブパターンのオーバーレイを事前に行うことが可能です。 SS-200のアプリケーションソフトウェアは、レシピの作成、編集、保存、読み込みが可能な使いやすいユーザーインターフェースを備えており、ウェーハの加工を効率的に行うことができます。SS-200は、お客様のご要望やご計画をお伺いし、より最適な装置となるようカスタマイズいたします。