電子流量調節器 CFC

差圧閉ループガス用

超高分解能で再現性の高いクローズドループシステム内での精密なリニアフロー制御。 Cordisフローコントローラは、比例弁の上流にある非常に高速反応なmemsテクノロジーセンサーを利用しており、小型パッケージで正確かつ正確な圧力制御のためのDR-2レギュレータのオプションが付いています。30分のウォームアップ時間、大きな差圧、限られた流量範囲を必要とする他のマスフローコントローラとは異なり、コーディスは1分未満のウォームアップを必要とし、その圧力損失は≤14 "H2Oであり、流量範囲は0～30 sccmと低いのが特徴です。標準制御オプションには、0.2～10 VDC、4.32～20 mA、3.3 VDCシリアルが含まれています。 一次コーディスの利点。 - ターンダウン率50:1 - コンパクトなサイズと重量 - ≤14" H2O の圧力低下 - <1分間のウォームアップ - 複数の低流量レンジ - <50 msの応答時間 - ≤25 mV の決断 - オプションの内蔵レギュレータ - 軽工業用アプリケーションのために収容されたOEMスタイルのカードユニットまたはIP65 コーディスのフローコントローラーはマイクロコントローラー、一体型フローセンサー、DR-2レギュレーター、比例バルブを使用しています。供給ガスは流量センサーとクリパードEVPまたはDVP比例弁に正確に圧力を維持するレギュレータに接続されています。コマンドが増加すると、比較回路はバルブを開き、流量がオンボードのフローセンサーを通過するようにします。これにより、プロセス内の流量設定値を満足させるためのアクティブなフィードバック信号がマイクロコントローラに提供されます。いずれかの時点で流量センサーが設定値コマンドより高い値または低い値を検出した場合、比例弁は、プロセス内の流量の安定した正確な制御を維持するために、より多くまたはより少ない出力を変調させます。