セラミック製真空チャック PLASMAPURE™ ALUMINA

リソグラフィーおよびウェハー検査用セラミック部品 次世代リソグラフィーおよびウェハーハンドリングアプリケーションに最適な当社の超高純度セラミック部品は、コンタミネーションを最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。 リソグラフィおよびウェハ検査コンポーネント ケミカルアタックに耐性があり、熱的に安定している当社の高純度セラミック部品は、リソグラフィー処理、ウェハーハンドリング（低汚染）、およびウェハー検査（極めて高い耐久性と硬度、寸法安定性）に最適です。用途には以下が含まれます： フォトマスク基板 ウェーハチャック ウェーハステージ部品 ウェーハテーブル 推奨リソグラフィー＆ウェハー検査材料 高純度アルミナ UltraClean™ 再結晶シリコンカーバイド CeraSiC、UltraSiC™直接焼結炭化ケイ素 フォトマスク基板 CoorsTekのフォトマスク基板は、高純度の合成石英ガラスから作られており、優れた紫外線および可視光線透過率、熱安定性、電気絶縁性、低複屈折、耐久性のある化学的安定性を実現します。高度でスケーラブルな研磨技術により、ウェハーから大型フラットパネルディスプレイ（FPD）までの微細パターニングに最適なフォトマスク基板です。 ウェーハチャック 当社の超平坦セラミック真空ウェーハチャック、ステッパーチャック、ポーラスチャック、静電チャックは、半導体ウェーハプロセスの歩留まり管理を改善します。低表面接触構造により、繊細なアプリケーションにおける裏面パーティクルのリスクを最小限に抑えます。当社のウェーハチャックは、以下を提供します： ウルトラフラット機能 鏡面研磨 非常に軽量 高い剛性 低熱膨張 直径Φ300mm以上 優れた耐摩耗性