ガラス製レンズ ULE®

シリコンUV用光学機器用

コーニング® ULE® ガラス (超低膨張ガラス) 7972 は、ほぼゼロ膨張の特性を持つチタニアシリケートガラスで、工作機械の基準ブロック、グレーティング、基準ブロック、干渉計の基準ミラー、望遠鏡のミラーなどのユニークな用途に選ばれている材料です。 ULEは単相の過冷却液体で、CTEは0ppb/Kに非常に近い。 EUV ULE 7973は、EUVLアプリケーションのマスクおよび光学基板のニーズに合わせて調整されています。 193nmから13.4nmへのリソグラフィ移行に伴い、ステッパー光学系は屈折型から反射型への大きな設計転換が必要となった。反射光学系では、基板材料は純粋に受動的でなければなりません。入射光は、光学部品とフォトマスクの多層膜コーティングで反射し、その下にある基板によって機械的または光学的な歪みが生じないようにする必要があります。 微小な温度変化による歪みを最小限に抑え、厳しいEUVL仕様を満たすために、基板は熱膨張係数（CTE）がゼロに近く、ピーク・ツー・バレー（P-V）のCTE変動が小さい必要がある。極めて低いCTE要件は、10億分の1ケルビン（ppb/K）単位で規定されている。 コーニングは、EUVL の要求を満たすため、測定方法の改善を続けています。 ゼロクロスオーバー温度を個別に調整することも可能です。 TSGTM 7972 低膨張ガラスは、コーニングのチタニアシリケート低膨張ガラスファミリーの第 3 弾です。TSG は、ゼロ膨張に近い材料を必要としない用途向けに、絶対熱膨張係数 (CTE) の要件を緩和しています。