半導体用テストプラットフォーム FTI-1000 Flexible Power

概要
FTI‑1000 Flexible は、Si および GaN の中電力ディスクリート電力デバイスのハイミックス試験向けに設計された、コンパクトでモジュラーなマルチサイト ATE プラットフォームです。8〜16 サイト構成で、1.2 kV、100 A までを小さな設置面積でサポートし、独立した DC/AC リソースと MOSFET／電力デバイスの包括的な測定（DC 特性、ΔVsd、ゲート電荷、ゲート抵抗、誘導性スイッチングなど）を備えます。

主な特長 / ポジショニング

• 設計上の柔軟性 — モジュラー構造により、異なるデバイス種や試験要件への迅速な再構成が可能です。
• 高スループット — 8 サイト構成を基本とした最適化テストシーケンスで混合生産時のサイクルタイムを短縮します。
• 運用効率 — コンパクトな設置面積と迅速な切替で、研究開発と自動化生産の併用に適します。

用途
自動車、産業用、Wide‑Bandgap（Si / GaN）ディスクリート電力デバイスの最終試験および特性評価。エンジニアリング検証、UIS/アバランシェ試験、ゲート特性評価に適合します。

統合・ソフトウェア
機械的な開放性とモジュール性により、ピック＆プレース、グラビティフィード、リードフレームストリップハンドラとの互換性があります。FTI Studio による波形キャプチャ、自動データシート生成、シュムー描画、パラメータ解析ツールで試験開発とデバッグを実施します。

製品ノート
Tester‑per‑Channel Board のモジュラーアーキテクチャにより、単一のスケーラブルプラットフォーム内で構成可能な AC/DC リソースを提供します。プラグインオプションとモジュール式の機械／電気要素で拡張が可能です（HV 拡張、高電流パルスモジュール、ダイジタイザ、Rg 測定モジュールなど）。

技術仕様

• プラットフォームファミリ：FTI‑1000 Flexible
• テストサイト数：8-16
• 最大スイッチング電圧（AC / DC）：1.2 kV
• 最大スイッチング／DC 電流：100 A
• 短絡エネルギー能力：>10 J
• ゲート電圧範囲：±25 V
• DC パラメトリック試験（例）：Rdson, Idon, Vce(sat), Vgs, Gfs, Igss, Idss, BVdss
• ゲート酸化膜と品質測定：Rg, Cg, Qg
• 熱的ダイアタッチ品質指標：dVsd / Vgs
• UIS / アバランシェ / ボディダイオード指標：UIL, EAR, EAS
• デジタルチャネル：8 独立デジタルチャネルオプション（IC Channel Board）
• ゲート抵抗オプション：0, 10, 25, 50 Ω およびユーザープラガブル R
• 負荷インダクタ：プラグイン式ディスクリートインダクタまたは選択可能なインダクタボックス
• DC ソース駆動（HV）：電圧 1.2 kV；HV 電流駆動例：25 mA
• 公称電流能力（DC/AC）：100 A
• 寸法（全体）：541 mm × 345 mm × 206 mm • 電源：345 mm × 176 mm × 103 mm
• ソフトウェア（FTI Studio）：波形キャプチャ、自動データシート生成、シュムー描画、パラメータ解析、テストプログラム作成／デバッグ
• ハンドリング互換性：ピック＆プレース、グラビティフィード、リードフレームストリップおよびその他の標準自動ハンドラ