NDIRガスセンサー Gasboard-2061

プロセス計測用半導体用ガス精製モニタ用プロセス制御用

概要
Gasboard-2061 は、タングステン CVD（WCVD）成膜チャンバー内での WF6 濃度のリアルタイム測定およびエンドポイント検出（EPD）向けに設計された NDIR WF6 ガスセンサーです。真空およびプロセス条件下で高感度かつ再現性のある測定を提供し、正確なエンドポイント表示と洗浄ガス使用量の低減に寄与します。

設計と統合
コンパクトでモジュラー設計の Gasboard-2061 は、真空プロセスラインへの容易な取り付けを想定しています。316L 製の構造と密閉光学経路により、腐食性のプロセスガスに耐性があります。校正やデータ記録、プロセス制御システムへの統合のために、アナログ/デジタル I/O と RS485 通信をサポートします。

特長

• WF6 測定に最適化された NDIR 技術。
• 濃度変化をリアルタイムで追跡する高速応答。
• 低ゼロドリフトと高い再現性で安定した測定を実現。
• 真空環境に適した密閉設計。
• 腐食に強い 316L 構造で厳しいプロセス条件に対応。
• 柔軟な統合を可能にするアナログ出力（0–5 V または 4–20 mA）、アナログ入力およびデジタル I/O。

仕様（表）
測定成分：WF6
レンジ：0–200 mTorr
再現性：±0.5%
精度：±1% F.S.
動作電圧：24 VDC
動作電流：1.5 A（最大）
アナログ出力：0–5 VDC（4 ch）または 4–20 mA（4 ch）
アナログ入力：0–10 VDC（1 ch）
デジタル出力：4 ch
デジタル入力：1 ch
通信：RS485
サンプリングポート：NW25
漏れ率：≤1 x 10-6 Pa·m3/s（He）
動作周囲温度：20–35 ℃

測定条件に関する注意
1. 表中のデータは標準大気圧下で測定されています。
2. 校正用ガスは公的計測機関が供給し、乾燥窒素（純度 ≥99.999%）で希釈されています。
3. 上記性能は校正後の値であり、各センサーは製造時に100%校正されています。
4. 測定は周囲温度25 ℃で実施されています。

技術仕様

• 型式：Gasboard-2061
• 測定ガス：WF6
• レンジ：0–200 mTorr
• 再現性：±0.5%
• 精度：±1% F.S.
• 電源：24 VDC
• 最大動作電流：1.5 A
• アナログ出力：0–5 VDC（4 ch）または 4–20 mA（4 ch）
• アナログ入力：0–10 VDC（1 ch）
• デジタル出力：4 ch；デジタル入力：1 ch
• 通信インターフェース：RS485
• サンプリングポート：NW25
• 漏れ率（He）：≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• 動作周囲温度：20–35 ℃
• 構造：316L 耐食材料；真空環境に適した密閉設計