縦型自動収納システム

パレット用長尺物用カセット用

クリーンストッカー 半導体の生産工程内・工程間における仕掛品の一時保管や、FPD（フラットパネルディスプレイ）用カセットの搬送・保管に用いられる自動倉庫。ウエハを格納したFOUPの必要保管数に合わせ棚モジュールの拡張が可能な半導体向けや、FPDの各世代カセットサイズに対応した各種ストッカーを取りそろえています。