アルミニウム加熱プレート

精密

最先端のヒーター技術を利用し、デュレックスは、200mm、300mm、および450mmウェーハ用の精密鋳造ベークプラテンを製造しています。 鋳造プラテンヒーターは純粋なアルミニウム (99.7%) で鋳造されており、プロセス汚染のリスクを最小限に抑えつつ、450° C (842° F) の最高動作温度を保証します。 鋳造プロセスは、空隙率によって引き起こされる機械加工された表面または鋳造体の欠陥を排除するために制御されます。 鉱物絶縁発熱体は鋳造全体に分散され、プロセス動作温度の ± 1 ％ 以上の表面温度の均一性を提供します。 利用可能な硬質陽極酸化仕上げは、鋳造ベークプラテンヒーターの作業面に耐摩耗性の誘電体バリアを提供します。