空気ディフューザー Chambergard™ II Max
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詳細
「 Chambergard™ IIの最高のガス拡散器
大気のガス拡散器への大量の直通および急速なガス抜き
大気に大量の効率および急速なガス抜きを提供する
入って来るガスからの粒子の大きいより0.003のµmの取り外しはウエファーの欠陥を最小にする
フラット パネル ディスプレイおよび光起電企業のために推薦される
材料:
膜:PTFE
サポート:PFA
\ /mesh一致カバー:316Lステンレス鋼
取り外しの評価:
ガスの≥ 0.003のµmの粒子の≥ 99.9999999%の取り外し
下流の清潔:
清潔0.01のµm
最高の差動pressure1:
high-vacuum状態時2.5棒（最高の吸入圧は1.4棒である）
最高の作動temperature2:
120ºC （248ºF）
保証:
3年か1,000,000 cycles3
注:
不活性ガスの1at室温および
2inの不活性ガス
不活性ガスおよび差動圧力≥ 5のbar \ /htmlの3at室温」、
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