脱気ユニット LiquidLens™ LLD2

LiquidLens™ LLD2 UPW 脱気システム浸漬リソグラフィスキャナー用 UPW 脱気 LiquidLens LLD2システムは、溶存ガスを低減し、UPW 品質を監視することで流体レンズの安定性と純度を提供します UPW 出口の目標温度と圧力レベルを継続的に維持します。 ストリーム 安全アラームとリークセンサを使用してプロセスと機械を安全に確保し、 ツールとお客様の中央監視システムの重要なパラメータをリアルタイムで監視します。