ガス用精製システム GateKeeper

GateKeeper® ガス 浄化システムGPSメディアシリーズ（HX、DX、Z2）は、部品 ／ 兆（ppt）レベルで一連の精製ガスを低所有コストで提供します 311 SLM ～ 932 SLMの最大流量 アプリケーションには、浸漬リソグラフィツール、半導体、LED 生産が含まれます 清浄機は自動的に自己再生し、純粋なガスの連続的な流れを保証 するコンパクトな設計で、ファブの床面積を最小限に抑え、施設のコスト削減を実現します。