真空チェンバ
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真空脱気（アウトガス）チャンバー：脱気（アウトガス）手順を実行し、材料からのアウトガスを減らします。 システムは、50 〜 120 ℃ の温度範囲と1x10-6トルの低圧の状態で動作します
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