光学顕微鏡 MX63 series

実験用検査用オンライン ウェハー検査用

MX63/MX63Lは最大300mmサイズのウエハーや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。さらにOLYMPUS Stream画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までのシームレスなワークフローを提供します。