カセット用自動収納システム FlatStocker

クリーンルーム用

FlatStockerは、オープンウェーハカセットやH200ボックスなどの材料キャリアをクリーンルーム天井裏に収納する画期的なシステムです。 不要なスペースを有効活用 この革新的なシステムは、床面積が限られ、非常に貴重なオープンウェーハカセットやHA-200ボックスなどの材料キャリアを省スペースで保管するための理想的なソリューションです。FlatStockerは天井から吊り下げられ、様々なタイプのカセットに対応します。FlatStockerは、RFIDとバーコード技術を使用して、お客様のMCS（Material Control System）にキャリアID情報をリアルタイムで提供します。 搬送システムや垂直リフトに接続することで、迅速な保管やバッチへのアクセスが可能になります。 シンプルな設計は、実績のある工業用コンポーネントに基づいています。これにより、お客様の保管要件や利用可能なスペースに合わせて、最も効果的な構成を柔軟にレイアウトすることができます。 特徴 製品キャリア、例えばオープンウェーハカセットやHA-200ボックスのクリーンルーム天井下への保管 RFIDとバーコード技術により、ロットのロケーショントレースがリアルタイムで可能 コントローラーソフトウェア SECS GEM / SEMI E88 / SEMI E84 準拠 他システムへのキャリア転送用インターフェース お客様のニーズに合わせた柔軟な設計調整 ISO 3 / US FEDクラス1まで対応 ISO 4クリーンルームでの動作速度1.5 m/s