輸送用コンベヤー システム

コンベヤー自動

当社のクリーンルーム用自動ローラーコンベア搬送システムにより、半導体工場における手動によるウェハー搬送は過去のものとなりました。プロセスシステムへの材料搬送を自動化することで、オペレーターの貴重な時間を節約し、スループット時間を短縮し、全体的な生産効率を向上させます。 半導体産業用インテリジェントコンベアシステム クリーンルーム対応のローラーコンベヤは、FOUP、SMIFポッド、HA200ボックス、オープンウェーハカセット、顧客専用ウェーハボックスなど、さまざまなタイプの搬送ボックスを搬送します。 ゾーンに配置されたローラーコンベア搬送システムの個別に作動する駆動モーターは、衝突のない自動搬送を保証します。さらに、このシステムは、セクション内で異なる速度で搬送物を加速または減速することができます。駆動側と受動ローラーとの同期を確実にするため、ローラーは一定の間隔で中空シャフトに接続されています。 このシステムは、ライン、リフト、回転エレメントの多彩な組み合わせにより、半導体工場において高度にカスタマイズされたウェハー搬送ソリューションの実現を可能にします。この搬送システムは、ファブの複数の生産レベルを統合することができます。 キャリアIDやウェハIDの読み取り、マッピング、アライメントなどの追加作業工程を搬送プロセスに組み込むことで、搬送ルートでの時間を大幅に節約します。 最後に、クリーンルーム用コンベアシステムの特長は、統合マイクロコントローラによるシンプルで柔軟な制御です。