製品概要Fluke Calibration は、1 sccm から 100 slm の流量に対応する層流要素(molbloc-L)を提供します。molbloc は molbox 系終端装置と COMPASS ソフトウェアと組み合わせて使用し、トレーサブルな質量流量の転送標準を構成します。
主な機能- 流量レンジ:1 sccm ~ 100 slm。
- 流路はピストンと本体の密着円筒穴との間のギャップで形成されます。
- ギャップサイズを変えることで異なる流量レンジを実現し、大きなボディは高流量用です。
機能の概要- molbox1+、molbox2、molbox RFM ならびに COMPASS ソフトと互換。
- 汚染防止用の統合フィルター搭載。
- ガス温度の調整・測定を一体化。
- 継続的なリアルタイム読み取りと完全自動化対応。
- 可動部なし。
molbloc-L のレンジmolbloc のサイズは公称流量インピーダンスに相対する番号で表されます。公称インピーダンスは、上流絶対圧 250 kPa、差圧 50 kPa の条件で窒素を流した場合の公称流量レンジを与えます。実際のレンジはガスの密度・粘度や校正圧力オプションにより変わります。
モデル(抜粋)- 1E1 VCR-V-Q
- 5E1 VCR-V-Q
- 1E2 VCR-V-Q
- 2E2 VCR-V-Q
- 5E2 VCR-V-Q
- 1E3 VCR-V-Q
- 5E3 VCR-V-Q
- 1E4 VCR-V-Q
- 3E4 VCR-V-Q
- 1E5 VCR-V-Q
付属品(共通)- 保管・輸送ケース。
- 柔らかい再使用可能な VCR O リング及び取付説明書。
- 標準でフルレンジ低圧 N2 校正を実施(他の校正/ガスは別途注文)。
- NIST トレーサビリティを示す校正報告書と校正データ。
仕様 - 標準 molbloc-L 校正(molbox1+ / molbox2 用)- 測定更新速度: 1 秒。
- レンジ: ガスと molbloc 圧力により 0 ~ フルスケール(校正依存)。
- 分解能: 0.0015 % FS。
- 直線性: 読値の ±0.05 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.005 % FS。
- 再現性: 読値の ±0.05 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.005 % FS。
- 確度¹: 読値の ±0.07 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.007 % FS。
- 安定度²(1 年): 読値の ±0.09 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.009 % FS。
- 測定不確かさ³: 読値の ±0.2 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.02 % FS。
仕様 - プレミアム molbloc-L 校正(molbox1+ 用)- 測定更新速度: 1 秒。
- レンジ: ガスと圧力により 0 ~ フルスケール。
- 分解能: 0.0015 % FS。
- 直線性・再現性: 読値の ±0.05 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.005 % FS。
- 確度¹: 読値の ±0.07 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.007 % FS。
- 安定度²(1 年): 読値の ±0.03 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.003 % FS。
- 測定不確かさ³: 読値の ±0.125 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.0125 % FS。
仕様 - 標準 molbloc-L 校正(molbox RFM 使用時)- 対応レンジ: 1E1-L ~ 3E4-L。
- 測定更新速度: 1 秒。
- 分解能: 0.01 % FS。
- 直線性: 読値の ±0.23 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.023 % FS。
- 再現性: 読値の ±0.1 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.01 % FS。
- 確度¹: 読値の ±0.25 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.025 % FS。
- 安定度²(1 年): 読値の ±0.15 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.015 % FS。
- 測定不確かさ³: 読値の ±0.5 %(10–100 % FS);10 % FS 未満は ±0.05 % FS。
注記- ¹確度(Precision)= 直線性、ヒステリシス、再現性の組合せ。
- ²安定度 = 指定期間におけるゼロ点とスパンの最大変化(実機データで確認推奨)。
- ³測定不確かさ = 表示値と真の流量との差の最大偏差(精度、安定度、Fluke 校正標準の不確かさを含む)。
技術仕様(要約)- 製品: molbloc-L 層流エレメント(質量流量転送標準)。
- 測定更新速度: 1 秒。
- 対応流量: 通常 1 sccm ~ 100 slm(モデルと校正に依存)。
- 分解能: 0.0015 % FS(高精度校正時)。
- 互換性: molbox1+、molbox2、molbox RFM、COMPASS。
- 納品: ケース、再使用可能な VCR O リング、取付説明、標準 N2 校正、トレーサビリティ報告書。