製品概要molbloc-S® は、molbox1+ フローテルミナルおよび molbox RFM フローモニタと併用する高精度のソニックノズル(音速ノズル)校正装置です。molbloc-S を通る質量流量は上流の絶対圧に比例し、下流圧に依存しません(臨界〈音速〉流が成立する場合)。有効な音速流計測には、十分に低い逆圧比(BPR)を維持する必要があります。
主な特長- N2 および空気で最大 5,000 slm の流量範囲をカバー。
- molbloc/molbox™ 校正システムの範囲を拡張し、中流量および高流量で高精度を提供。
- molbox1+、既存の molbox1 ターミナル、COMPASS ソフトウェアと互換。
- 重力式校正に裏付けられた臨界流ベンチュリ(ソニック)ノズルの動作原理。
- 汚染に対する感度が低い。
- 測定不確かさ:molbox1+ 使用時 ±0.125% 読値、molbox1 使用時 ±0.2% 読値。
- 空気、N2、Ar、He および多くの特殊ガスの校正が可能;湿潤空気に対する密度補償をサポート。
- molbox1+S または真空機能を持つ他の molbox モデルで優れたレンジアビリティ(10:1 ターンダウン)。
- 上流の絶対圧を冗長に測定し、不確かさを低減し信頼性を向上。
- ガス温度の調整および測定を内蔵;リアルタイムの連続読み取り;完全自動化可能。
molbloc-S の範囲molbloc-S の流量範囲は、圧力から流量への変換比 K_F(sccm/kPa)で定義され、質量流量と上流絶対圧とを結び付けます。校正は方式により上流圧の範囲で行われます:LP 20–200 kPa(3–30 psia)、SP 50–500 kPa(7–70 psia)、HP 200 kPa–2 MPa(30–300 psia)。臨界流を維持するには、下流圧を十分に低く保ち、Back Pressure Ratio(BPR = 下流絶対圧 / 上流絶対圧)がレイノルズ数に依存する許容上限を下回る必要があります。下流に真空ポンプを使用すると、下流圧を下げて使用可能な流量範囲を拡張できます。
仕様 — 標準 molbloc-S 校正 — molbox1+ および molbox2 ターミナル使用時通常動作温度範囲:15 ~ 35 °C
保管温度範囲:-25 ~ 35 °C
通常の上流動作圧範囲:20–200 kPa abs(LP)または 50–500 kPa abs(SP);HP:200 kPa–2 MPa abs(molbox1+S のみ使用可)。
全体の流量範囲:<1 ~ 5,000 slm
入口接続(モデルにより):1/4 in. VCR™、1/2 in. VCR™、1 in. VCR™ または 1 in. NPT(モデル 1E1-S … 1E4-S 等)。
出口接続(モデルにより):モデルに応じた ISO‑KF タイプ真空フランジ(16 mm、40 mm)。
対応ガス:乾燥空気、N2、Ar、He および多くの特殊ガス(詳細は仕様参照)。
流量測定(概要)範囲:molbloc のサイズおよび圧力校正範囲に依存。
必要な逆圧比:レイノルズ数により 0.4 ~ 0.9。
校正ガス:標準 — 乾燥空気。オプション:N2、Ar、H2、He、N2O(入手可能性は変動)。湿潤空気運用には乾燥空気での校正が必要。
圧力校正範囲:LP 20–200 kPa abs;SP 50–500 kPa abs;HP 200 kPa–2 MPa abs(HP は molbox1+S のみ)。流量仕様は molbloc フルスケールの 10%~100% で有効。
分解能:±0.0015% FS
精度:±0.06% 読値
予測安定性(1年):±0.05% 読値
測定不確かさ:±0.2% 読値(Premium:molbox1+ 使用時 ±0.125%)。
各 molbloc-S に含まれるもの- molbloc-S 流量エレメント
- 輸送および保管用ケース
- 上流接続用の柔らかく再利用可能な VCR Oリング;下流接続用 ISO‑KF センタリングリング、クランプおよび過圧リング;取り付け手順
- SP での標準不確かさ校正(空気)および認定校正報告書
技術仕様- ブランド:Fluke
- 商用名(シリーズ):molbloc-S®
- モデル例 / 利用可能な K_F 値:1E1-S (KF 10), 2E1-S (KF 20), 5E1-S (KF 50), 1E2-S (KF 100), 2E2-S (KF 200), 5E2-S (KF 500), 1E3-S (KF 1000), 2E3-S (KF 2000), 5E3-S (KF 5000), 1E4-S (KF 10000)
- 総合流量能力:<1 ~ 5,000 slm
- 動作温度:15 ~ 35 °C;保管:-25 ~ 35 °C
- 圧力校正タイプ:LP (20–200 kPa), SP (50–500 kPa), HP (200 kPa–2 MPa) — HP は molbox1+S のみ
- 測定不確かさ(典型):±0.2% 読値(標準);±0.125%(プレミアム、molbox1+ 使用時)
- 分解能 / 精度:±0.0015% FS 分解能;±0.06% 精度
- インターフェース:モデルにより VCR または NPT 入力オプション;下流に ISO‑KF 真空フランジオプション
- 対応ガス:空気、N2、Ar、He および多くの特殊ガス
- 互換性:molbox1+、molbox1 ターミナル (v4.0+)、molbox2 ターミナル、molbox RFM モニタでの使用向けに設計;COMPASS ソフトウェア互換