閉ループ流量調節器 CFR – P377

空気用圧縮空気用ガス用

小型で安定性の高いクローズドループフローレギュレーターです。マスフローコントローラーや、比例弁、流量センサー、制御電子機器を含むマニホールドを置き換えることができます。 広い入力圧力範囲に対応し、安定した正確な出口流量を提供します。 流量範囲は、オリフィスにより1ml/minから10l/minまで対応可能です。 0-5Vの入力電圧またはUART通信により、流量の設定と読み取りが可能です。 テストボリュームとレギュレーター間のデッドボリュームをなくしました。 超低消費電力（<1W）。 用途：ガス分析器、計測器、バイオリアクター、半導体プロセスチャンバー。 必要な流体接続と流量にカスタマイズ可能。