熱分解検出用モジュール Py-ReX

ガス電気化学

Py-ReXパイロライザーモジュールはD-ReX PoSガス検知器のアドオンで、内蔵ポンプを使用して抽出ガスを検知します。Py-ReXと組み合わせて使用することで、D-ReXは毒性が強すぎたり、化学的に不活性で直接測定できないガスを検出することができます。 パイロライザーによるガス検知 パイロライザーを使用することで、半導体製造におけるガス検出の可能性が広がり、製造プロセスの最適化だけでなく、厳しい品質基準への準拠も容易になります。 毒性が強すぎたり、電気化学的に不活性で直接測定できないガスの測定を必要とするプロセスでは、パイロライザーが不可欠です。D-ReX PoSの機能を基に、Py-ReXはこのようなガスを抽出モードで検出するために開発されました。サンプリングポイントとガス検知器の間に取り付けます。測定したいガスは、ポンプを使ってパイロライザーに導かれ、D-ReX内のセンサーに到達します。 熱分解の仕組み 熱分解器は、元のガス（ターゲットガス）を測定可能なガス（測定ガス）に分解します。このステップなしでは検出できないガスもあるため、測定にはこのステップが必要です。測定ガスの濃度は、ターゲットガスの濃度を計算するために使用することができます。 Py-ReXはフィラメントパイロライザーです。石英ガラス管内のフィラメントは、ターゲットガスに合わせて正確に調整された特定の温度に加熱される。フィラメントとの接触により、ターゲットガスは測定ガスに分解され、ガス検知器の電気化学スマートセンサーによって検出される。