半導体検査用ガス監視設備 D-ReX PoS²

工業用プロセス監視用検出用

Overview
D-ReX PoS²は半導体製造環境向けに設計されたコンパクトなガス検知システムです。内蔵ポンプによりサンプリングポイント（PoS）から最大約30 mまでサンプルガスを吸引でき、壁掛けまたはDINレール取付けに対応します。接続はPower over Ethernet（PoE）、4–20 mA、Modbus（RS-485）に対応しています。

USPs

• 工具不要のメンテナンス：前面パネルは工具不要で開き、センサーカートリッジやポンプ機構に迅速にアクセス可能です。
• リモートサンプリング：内蔵ポンプとサンプルライン機能により、狭小スペースや分散した採取点での採取が可能です。
• 柔軟な統合：PoE、4–20 mA、Modbus（RS-485）により上位制御システムへの接続が容易です。

Features

• ライン整合性監視（オプション）
• ガス識別、濃度、機器状態を表示する大型2.4"カラーTFT表示
• 自由にプログラム可能な単極切替接点の内部リレー×3
• 通信：Ethernet（PoE）、4–20 mA、Modbus（RS-485）

Designed for semiconductor fabs
本機は配管、ガス分配システム、貯蔵エリア、スクラバー、クリーンルーム等からのサンプリングに対応します。熱分解が必要なガスにはオプションのPy‑ReXモジュールを使用します。センサーカートリッジは事前設定済みで交換可能、センサーカセットとポンプ電子部品は摩耗部品交換時に再利用されます。

Information & operation
2.4"表示はガスの種類、測定濃度、機器状態、故障を明瞭なテキストで表示します。内部リレー3点は外部アラームや安全動作のトリガーにプログラム可能です。ネットワーク運用はPoE対応LAN（10/100 Mbit/s）およびModbus（RS-485）でサポートされ、アナログ出力は4–20 mAで提供されます。

Detectable semiconductor process gases (typical)
アンモニア（NH3）、塩化水素（HCl）、フッ化水素（HF）、水素（H2）、シラン（SiH4）、ジクロロシラン（DCS）、アルシン（AsH3）、ホスフィン（PH3）、ジボラン（B2H6）、セレニド水素（H2Se）、ジャーマン（GeH4）、塩素三フッ化物（ClF3）、フッ素（F2）、オゾン（O3）、臭化水素（HBr）、シアン化水素（HCN）、ヘキサメチルジシラザン（HMDS）、テトラエチルオルソシリケート（TEOS）。

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: 内蔵ポンプ、サンプルライン対応（最大約30 m）
• Installation: 壁掛けまたはDINレール取付け
• Service: 工具不要の前面アクセス；センサーカートリッジおよびポンプ機構の工具不要交換
• Sensors supported: 電気化学式、触媒式、赤外線、PID（プレコンフィギュア済みセンサーカートリッジ）
• Display: 2.4" カラー (TFT)
• Relays: 単極切替接点の内部リレー×3（自由にプログラム可能）
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus（RS-485）
• Network / Power: Power over Ethernet（PoE）、Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: Py‑ReX ピロライザーモジュール；ライン整合性監視オプション