ガスサンプルパッケージング システム Py-ReX

概要
Py-ReX は、D-ReX PoS 向けのフィラメント式熱分解（ピロリシス）モジュールであり、直接測定が困難な高毒性または電気化学的に不活性なガスの抽出検出を可能にします。本モジュールは D-ReX PoS の内蔵ポンプを利用して、石英管内の加熱フィラメントを通してガス試料を引き込み、ターゲットガスを検出可能な生成種に変換します。生成種は D-ReX の電気化学スマートセンサで測定されます。

ピロリシスを用いたガス検出
Py-ReX は採取点とガス検出器の間に設置します。D-ReX PoS のポンプが試料をピロライザーへ送り、ピロリシス後に変換されたガスが D-ReX センサに供給されて解析されます。この構成により、プロセス監視や安全用途で検出可能なガスの範囲が拡張されます。

ピロリシスの仕組み
石英ガラス管内のフィラメントをガスに応じた特定温度に加熱します。加熱フィラメントと接触するとターゲットガスは分解（ピロリシス）して検出可能な別の生成種になります。測定された生成種の濃度から、キャリブレーションパラメータに基づいて元のターゲットガス濃度を算出します。

検出可能なガス
Py-ReX は主に半導体製造などで用いられるフッ素系の不活性化ガスに最適化されています。また一部の非フッ素系不活性ガス（例：1,2-ジクロロエテン）も検出可能です。代表的な測定対象は C2H2Cl2、C4F6、C5F8、CH3F、NF3、SF6 などの変換生成物です。

概要：装置と特徴

• ピロリシス方式：フィラメント式ピロリシス（石英管内のフィラメント）
• 動作：D-ReX PoS の内蔵ポンプを使用した抽出サンプリング
• 通信：4-20 mA 出力
• 状態表示：2色ステータスLED
• 取付：DINレール（TS35）ハウジング
• 最大サンプルライン長：最大30 m
• 加熱電流監視：D-ReX PoS 上で利用可能
• オプション：D-ReX PoS によるラインインテグリティ監視

測定ガス（例）
C2H2Cl2 — 1,2-ジクロロエテン (DCE); C4F6 — ヘキサフルオロブタジエン; C5F8 — オクタフルオロシクロペンテン; CH3F — フルオロメタン; NF3 — 窒素三フッ化物; SF6 — 六フッ化硫黄

技術仕様 / 特性

• D-ReX PoS の内蔵ポンプを使用する追加モジュールとして設計
• フィラメントピロライザー：石英管内のフィラメントをガス特性に応じた温度で加熱
• 採取点と検出器の間に設置
• ターゲットガスを測定可能なガスに変換し、測定値からターゲット濃度を算出
• 通信出力：4-20 mA
• 視覚表示：2色ステータスLED
• ハウジング：DINレール（TS35）
• 最大採取ライン長：最大30 m
• 加熱電流監視：D-ReX PoS 上で実装
• オプションのラインインテグリティ監視：D-ReX PoS で利用可能
• 適用分野：主に半導体製造におけるフッ素系不活性ガス；一部の非フッ素系不活性ガスも対象