赤外線顕微鏡 C10506-06-16

検査用倒立型近赤外線（NIR）

倒立型エミッション顕微鏡は、半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障位置を特定する裏面解析用システムです。 裏面からの信号検出により、ウェーハ表面へのプロービングやプローブカードの使用が容易となり、サンプル設定をスムーズに行うことができます。複数検出器、レーザ搭載を可能にしたプラットフォームは、発光・発熱解析、IR-OBIRCH 解析等、様々な解析手法を行うために最適な検出器の選択を可能とし、テスタ接続による動的解析も効率よく行うことができます。 iPHEMOS-DDは、LSIテスタと直接つなげることにより、接続ケーブル長による信号遅延を抑え、高速駆動サンプルの解析ができます。ダイレクトドッキング専用プローバにより、300 mmウェーハへの多ピン針あてが可能です。またオプション追加により、パッケージ解析、マニピュレータによる針当ても可能となります。 特長 • 発光と発熱解析用の超高感度カメラを２台搭載可能 • 最大３波長までのレーザ及びEOP用プローブ光源を搭載可能 • 複数検出器搭載可能なマルチプラットフォーム • 高感度マクロレンズ及び各検出器感度波長に最適なレンズを、最大10本まで搭載可能 オプション機能 • レーザスキャンシステム搭載 • 高感度近赤外カメラによる発光解析 • 高感度中赤外カメラによる発熱解析 • IR-OBIRCH解析 • レーザ照射ダイナミック解析 • EOプロービング解析 • NanoLensによる高解像度・高感度解析 • CADナビゲーションとの接続 • LSIテスターとの接続