光学顕微鏡 C11222-16

検査用近赤外線（NIR）デジタル カメラ

PHEMOS-1000は、半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。汎用プローバと組み合わせて解析することが可能なため、使い慣れたサンプルセッティングのまま各種解析が可能です。レーザスキャンシステムのオプション搭載により、高解像度なパターン像の取得が可能です。また、発光解析や発熱解析、IR-OBIRCH解析など、様々な解析手法に対応した複数の検出器を選択することができます。ソケットボードから大型の300 mmウェーハプローバまで多彩な用途にバランスよく対応します。 特長 • 超高感度カメラを2台搭載可能 • 最大3波長までのレーザ及びEOP用プローブ光源を搭載可能 • 様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載 オプション機能 • レーザスキャンシステム搭載 • 高感度近赤外カメラによる発光解析 • 高感度中赤外カメラによる発熱解析 • IR-OBIRCH解析 • レーザ照射ダイナミック解析 • EOプロービング解析 • NanoLensによる高解像度・高感度解析 • CADナビゲーションとの接続 • LSIテスターとの接続