自動塗工機 T-AlOx (AlOx + SiNx)
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特徴
- 特性
- 自動
詳細
本装置は、ウェーハの裏面にAlOx層とSiNx層を形成し、再結合率を高めることで、裏面透過光を最小限に抑え、光の反射を最大化し、セル効率を高めるものです。
仕様
ハイスループット：5,485枚/時（640枚/艇）。
サイクルタイム：42分
稼働率: 97
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