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縦型自動収納システム
カセット用プレート用湿度および温度一定制御付

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HANWHA MACHINERYのサイトについての詳しい情報

特徴

タイプ: 縦型
応用: カセット用, プレート用
その他の特徴: 湿度および温度一定制御付

詳細

ウェーハのFOUP、FOSB、POD、カセットを保管・仕分けする、半導体向けクリーン物流システム用の自動保管装置です。チャンバー型、ラック型など、半導体プロセスごとの要求仕様に合わせた様々な形態で実装することが可能です。仕様環境クリーン度クラス1～クラス1000 速度：1.5m/sec. 加減速：2.5m/sec2 振動RMS0.5Gを超えないことパージ常時PN2パージ環境制御：湿度、温度、圧力、酸素濃度

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