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電動アクチュエータ LA-3 series
リニアボールねじサーボモーター

電動アクチュエータ - LA-3 series - Harmonic Drive LLC - リニア / ボールねじ / サーボモーター

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特徴

タイプ: 電動
動き: リニア
技術: ボールねじ, サーボモーター
モーターの種類: DC
用途: テスト用, 半導体用
その他の特徴: 精密, ポジショニング
ストローク: 10 mm, 30 mm
(0.394 in, 1.181 in)
推進力: 49 N
速度: 0.9 mm/s
繰返し精度: 0.1 µm

詳細

精密ボールねじにより、2ミクロン以上の位置決め精度と0.1ミクロンの繰り返し精度を実現。計測機器、検査・試験装置、光学機器、半導体・液晶製造装置などに最適です。特徴最大駆動力49N (5kgf) 分解能 0.0174μm ストローク10mm、30mm 最大送り速度：0.9mm/s 繰り返し精度：±0.1μm/1mmストロークロストモーション5μm/1mmストローク駆動モーターはステッピングモーターに変更可能です。業種計測機器試験検査装置光学機器半導体液晶製造装置

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