製品紹介
膨張弁ヘリウム検査装置は、ヘリウムをトレーサーガスとして使用し、部品の全体的な損失を測定することができる一種の装置です。検査される部品は真空チャンバーまたは分析チャンバーに挿入されます。その後、チャンバーが排気され、部品はヘリウムガスによって加圧される。適切な真空度に達すると、質量分析計が分析チャンバーに接続され、被検査品のヘリウムオーバーフロー量を測定します。高感度、高信頼性という大きな特徴を持ち、半自動運転を実現し、膨張弁のリーク状況を迅速かつ正確に検出することができます。
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