質量分析計 HALO 201 MBEプロセス監視用ガス分析
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特徴
- タイプ
- 質量
- 分野
- プロセス, 監視用, ガス分析
詳細
分子線エピタキシー用ガス分析装置
Hiden HALOシステムは、RGA、ガス分析、およびリーク検出、トレンド分析、真空調査などのプロセス監視アプリケーション向けに設計されています。
半導体製造
燃料電池
MBEに特化した分析装置は、互換性のある材料で構成され、MBE環境での長期使用を想定して設計されており、銅の代わりにモリブデン配線と耐汚染性イオン源シュラウドを標準装備しています。
銅配線の代わりにモリブデン配線を採用し、MBE環境におけるRGAシステムの寿命を向上させました。
耐汚染性イオンソースシュラウド
デュアルファラデー/チャンネルプレート電子増倍管
最小検出分圧は2×10-13mbar
ベークアウト時のRGA動作のためのサーマルエクステンダーオプション
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