分光学エリプソメータ Auto SE

オートSEは、堀場科学社製の分光楕円体計です。 簡単な押しボタン操作で薄膜サンプルの自動分析が可能です。 数秒後に、厚さ、光学定数、表面粗さ、および膜の不均一性に関する情報を含む完全な解析レポートが生成されます。 Auto SEは、自動 XYZステージ、測定部位のリアルタイムイメージング、および自動スポットサイズ選択を特長としています。 Auto SEは、日常的な薄膜測定やデバイス品質管理に適しています。