ハンツマンでは、半導体の洗浄、エッチング、または剥離の用途向けに、さまざまな構造を持つ低微量金属グレードの第四級アミンを製造しています。ハンツマンの第四級アミンは、低腐食率と扱いやすさを兼ね備えており、水溶液と非水溶液の両方でTMAHよりも高い濃度で使用できます。
フォトレジスターの現像と剥離
エッチングおよび除去
太陽電池のテクスチャー処理
ポストケミカルメカニカル平坦化洗浄
低微量金属、高純度
最大45%の濃度で使用可能
水溶液および非水溶液で使用可能
E-GRADE® THEMAHは、トリス(ヒドロキシエチル)メチルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液です。透明で高pHの液体で、穏やかな匂いと熱安定性を持っています。本製品は、主に半導体、ディスプレイ、PCB産業における剥離・洗浄処方に使用されています。
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