マルチ センサー特性評価装置 Vertex

プラズマイオンエネルギー配給

Vertex Multi Sensorは、複数の場所からプラズマ反応器内の表面に当たるアスペクト比の関数としてイオンエネルギー分布を測定し、基板全体のイオン相互作用の均一性を分析します。 イオンエネルギー、イオンフラックス、バイアス電圧の均一性も、複数の場所から測定されます。 地物の底部に当たるイオンの角度は、アスペクト比の関数として、イオンエネルギー分布から決定することができます。アスペクト比は、基板の均一性、したがって基板の片側から他方の側へのエッチプロファイルの品質を監視するために測定することができます。 頂点マルチセンサは、アスペクト比の関数としてイオンエネルギー分布の均一性を測定します。 イオン・エネルギー均一性、イオン・フラックスの均一性、負のイオン均一性、およびプラズマ内部の表面におけるバイアス電圧が提供されます。 Vertex Multi Sensorは、大きな基板用のプラズマエッチング、イオンビーム、プラズマスパッタリングなど、特徴が注目される業界や研究の多くのアプリケーションで使用されています。 Vertex Multi Sensorは、モデルを確認し、プラズマを使用し、均一なプロセス、プラズマツールの設計、プラズマの特性評価、研究を必要とする新しいプロセスや実験を開発するのに役立ちます。 Vertex Multi Sensorは、19インチのラックに取り付けられた電子機器、真空フィードスルー、プラズマチャンバ内の任意の場所に配置されたセンサホルダに収容されています。 この位置は、RFまたはDC 電源の電極でも可能で、交換可能なボタンプローブセンサーを使用できます。 エレクトロニクスユニットはラップトップまたはPCに接続し、Vertexインテリジェントソフトウェアスイートを使用します。